MR-3主動(dòng)消磁系統(tǒng)【德國*】

下載信息  [文件大小：300.96 KB 下載次數(shù)： 1 次]

點(diǎn)擊下載文件:Data-sheet_MR-3.pdf

 頻率范圍：1千赫和10千赫
 MR-3主動(dòng)消磁系統(tǒng)是一種三維空間內(nèi)的磁場補(bǔ)償系統(tǒng)。通過傳感器感應(yīng)空間磁場的變化，控制器通過三對(duì)空間線圈來提供磁場，抵消磁場給實(shí)驗(yàn)帶來的影響。
主要特點(diǎn)：
連續(xù)實(shí)時(shí)補(bǔ)償磁場。
高靈敏度傳感器，可精確的反饋磁場的變化。
簡單的模擬設(shè)計(jì)，無需復(fù)雜編程。
實(shí)地監(jiān)測和報(bào)警功能。
可改善顯微鏡下圖像的質(zhì)量（SEM and TEM）。
MR-3開關(guān)后圖像的變化：


通過穩(wěn)定磁場環(huán)境確保您購置的電子束科技設(shè)備應(yīng)有性能
消除和監(jiān)測交直流磁場
簡單的“一勞永逸”式操作，連續(xù)實(shí)時(shí)補(bǔ)償磁場
磁場躍變響應(yīng)速度：100 μs以內(nèi)
交流或直流磁場傳感器
消磁器動(dòng)態(tài)工作范圍為(X & Y軸) 為<=40 mG (4 μT ) pk-pk, Z -軸為<=30mG (3.0μT) pk-pk
交流磁場可消除范圍：0.5 Hz to 5 kHz；市電50 Hz（典型）的交流背景磁場可被改善75倍
直流磁場可消除范圍：DC to 5 kHz；直流背景磁場可被改善200倍
完整的X, Y, Z三軸消磁系統(tǒng)
可消除場強(qiáng)高達(dá)80 mG (8.0 μT) pk-pk
消磁器顯示系統(tǒng)需為數(shù)字LCD 顯示面板,其參數(shù)設(shè)定及操作皆可透過面板按鈕作控制及切換
高靈敏度傳感器，可精確反饋環(huán)境磁場變化；支持多路傳感器，用于抵消TEM透射電•鏡和CD關(guān)鍵尺寸電子束顯微在線檢測設(shè)備的環(huán)境磁場
網(wǎng)絡(luò)監(jiān)控（選項(xiàng)）
本設(shè)備為免校正儀器,其內(nèi)部的自我歸零功能會(huì)自動(dòng)校正

產(chǎn)品特點(diǎn)
當(dāng)今高精電子束設(shè)備對(duì)環(huán)境磁場及其動(dòng)態(tài)變化是非常敏感的。環(huán)境磁場使電子束產(chǎn)生偏移，從而導(dǎo)致設(shè)備分辨率和測量精度的減低。

SC20系統(tǒng)由磁場控制單元、一兩個(gè)交流或直流磁場傳感器以及裝在待消磁房間里的三根多芯電纜（三維空間線圈）組成，是一種三維的交直流磁場補(bǔ)償系統(tǒng)。

傳感器測量空間環(huán)境中交直流磁場及其變化量，磁場控制單元以實(shí)時(shí)負(fù)反饋環(huán)路控制方式調(diào)節(jié)三個(gè)線圈中的電流來創(chuàng)建一個(gè)與環(huán)境磁場變化相反的磁場信號(hào)，抵消環(huán)境磁場給電子束設(shè)備帶來的影響，恢復(fù)設(shè)備應(yīng)有的分辨率和精度。

這是一個(gè)動(dòng)態(tài)系統(tǒng)，對(duì)磁場躍變自動(dòng)響應(yīng)的速度在100微秒以內(nèi)。

市電（50/60 Hz）頻率的交流背景磁場可被消除至75分之一；直流背景磁場可被消除至200分之一。

MR-3主動(dòng)消磁系統(tǒng)【德國*】
MR-3主動(dòng)消磁系統(tǒng)【德國*】